方法编辑看仪器操作使用说明或者操作规程。

在操作软件里，勾选内标元素，选相关波长，标液和样品中加内标液或在线加内标液。

方法建立的时候有个内标的选项。

通常情况下，内标元素一般以Y以多，其它元素如Sc, Co等等，主要看你样品中元素的情况，和要测试的元素来定。内标元素选取样品中不存在的，不带来光谱干扰的，便宜易得的等多个原则综合考虑。另外，根据被测元素选择的谱线来确定内标元素的谱线，一般情况下以两者电离能接近为原则，当然如果两者的强度又能比较接近那就更理想了。样品和标样中都需要加入完全相同浓度的内标元素。最后上仪器进行测定，通常情况下各家的仪器软件中都应该有内标法这个功能，软件会自动用被测元素与内标元素的强度比值来进行回归。