确定这样能测准Si，SiF4不是气体吗？都跑了！Si的测试一般碱熔。

主要看什么样品 有酸溶硅和总硅，方法不同。

如何进行前处理把HF赶跑，确保ICP准确测试Si含量呢？加入硼酸？高浓度的还是和HF一样浓度的？比例是多少标准是有的，不过不同行业，区别也是有的，我说的依据是CPSC-CH-E1002-08.3,此标准是玩具中非金属儿童产品的总铅测定程序，一般样品称取30－100毫克，微波消解加入3ml的浓硝酸和1ml的氢氟酸，消解结束后加入30毫升4%的硼酸，最终定容50毫升，这个30毫升4%的硼酸相对1ml的氢氟酸而言，肯定　是过量的，用以保护ICP的石英炬管等

氟化硅与氟离子进一步反应可以形成氟硅酸，这是个可逆过程。然后因为加入了硼酸去络合氟离子。最后硅的存在形式是什么我都不知道。

碱熔法或许可以一试。