会不会是冷却气流量设置太小了，没有具体用过这个型号的仪器，不过感觉需要适当增加冷却气的流量。

我就在用Elan600。首先你的“RF线圈也看到破损”，破损到什么程度，有没有漏气。Elan的等离子气是通过线圈后进到炬管的（这样做是为了冷却线圈，其他公司的仪器是用冷却水来冷却线圈）。所以如果线圈有漏气的话，就会造成等离子气不够，会烧炬管。不知你们有没有换新的线圈试试。Elan6000由于生产较早，它并没有使用数字式气体质量流量控制器，使用的是压力传感流量控制器。等离子气流速固定在15L/min，辅助气为1.2L/min，软件里是不可调节的。你手头上如果有流量计，可以将等离子气与辅助气拆下来量一下，看看是不是在上述范围内。