ICP光源的激光烧蚀固体进样是将峰值功率很高的脉冲激光聚焦到样品表面，在极短的时间里使表面局部达到很高的温度，促使试样迅速熔化蒸发，然后用载气将蒸发物输送到ICP的方法，具有操作简单，适应样品种类广泛，可进行微区微量分析等明显优点。