是不是你们电路有问题(电压不稳什么的）有没稳压电源？，或者高频发生器(RF）有问题了，你看到等离子体很亮的时候你看一下功率输出哪里数值是多少，是不是稳定,我们以前遇到过等离子体很亮时，输出功率是大于设定的1300的，最大到了1380。而且有时刚开机时有10来秒是输出不稳定的。关了在开或者等一会就正常了。