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关于散射测试（UV）

我的光栅周期为300nm，其中线条只有150nm，材料为熔石英，吸收基本可以排除！在长波长（900nm以后）透过率和反射率之和等于1，刻蚀短波长透过率和反射率之和远小于1（可以肯定不是测量误差）！希望哪位专家能给个测试方案，看看短波长的那些光到底去哪了

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缘起 | 2019-06-28

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