仪器报错，泵漏液，找到泵漏液传感器那儿确实有很多液体，顺着液体找源头，是脱气机废液口一直有液体出来。一般情况下废液口有液体出来说明某个真空腔出现漏液，一旦漏液真空度达不到，会报错？但是没有报错信息，仪器一切正常。