各位老师，请教下 H2, O2+AR,N2, CH4,CO,CO2, SF6，CHF3,CClF3，HF? in CF4 的检测方法。暂时H2, O2+AR,N2, CH4,CO,CO2, SF6，n CF4 能确认用DID或者PDHID 的气相色谱仪来完成分析；CHF3,CClF3，HF? in CF4 大家有没有好的方法。