大家是否有分析高纯NF3的较好方法？（GC）-食问实答-食品人互助问答社区

大家是否有分析高纯NF3的较好方法？（GC）

大家好！目前半导体电子气行业发展较快，电子气种类基本三年一个周期，目前主流电子气产品为NF3。大家是否有分析6N9以上纯度NF3的较好方法？

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翻过的亲切 | 2019-08-08

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