排除管路堵或者阻尼管没有问题的情况下，可能是电磁阀的不稳定，尝试修改APC的P Term值至200，看看情况是否好，一般都能好。如果还是不好，那就是电磁阀有污染了。 以上操作建议让岛津工程师上门检查吧。

检查下make-up板气体连接是否漏气，气源压力不稳定的时候，电子控制流量也是会波动的。

这种拆硬件的情况，没把握就不要自己动吧我还没有遇到过尾吹不稳的情况

看看是不是阀控制元件有点问题。按你的说法是过热情况下，阀控制有点毛病，那就检查电路连接。这类阀是常闭阀，得电通。

还是请岛津的工程师看看吧，或者咨询一下。

工程师上门看看为好