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您了解VARIAN 系列ICP的水流量监视吗?

在水流量控制模块上安装了一个水流量开关。如果水流量不足,计算机软件中会出现 'Low water flow' 的错误信息,并禁止等离子体点燃。如果在等离子体运行过程中检测到水流量不足,仪器会立即将等离子体熄灭。您了解VARIAN 系列ICP的水流量监视吗?你有遇到类似故障问题吗?都是如何解决的?
1人参与回答
,研发专员 2019-09-04回答
知道有这个功能,但是没有专研这块。
 
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