前几天热电RF板子坏了后自己通过维修，已经能够正常点火，在光谱仪最佳化时提示RF功率问题，停止曝光，但是直接测样品时修改RF功率从低到高都能正常使用，测量波形也有，就是有点偏移，我怀疑是光路系统有异物，导致仪器找不到C基点。因为不是找热电维修的，他们就坚持说RF板的问题