现在一般采用傅立叶红外光谱仪定性分析了四氯化硅中机杂质官能团，但因为四氯化硅在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢。遇水时水作用很激烈，也能和醇类起激烈反应。天津市金贝尔科技有限公司设计了一套密封取样装置有效避免了四氯化硅的水解等，提供了一种简单有效的四氯化硅分方法。系统组成本系统组成：本系统包含德国进口红外光谱仪主机 1 套，专用的自动四氯化硅分析系统一套，适合不同浓度的密闭气体池 4套，专用的自动采样系统 1 套（实现在线和离线操作），连接管路1 套，维护工具包 1 个，本系统可以达到在线和离线实时检测。