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Agilent 710 ICP-OES仪器错误信息F16602怎么解决

各位,有谁碰到过这种情况,安捷伦的710 ICP-OES,仪器错误信息F,F16602:获取前置光路状态失败,详细信息说ICB命令无效,这个问题怎么解决啊,重启仪器和电脑了也不行,
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