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光学系统杂散光问题

　光学系统还有一个参数那就是杂散光，一般要求在As193.696 nm处用1000 ppm钙测定其背景等效浓度(BEC)要小于3ppm(在这方面Thermo、LEEMAN、VARIAN、PE的指标都表现得很好)。大家留意过这个吗？

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姑娘你好 | 2019-09-11

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