首先，用不分流进样试试，如果没问题说明大部分气路没问题。然后再分流进样，如果压力不稳测分流出口流量与设置是否一致，有没有波动。

搞定了，是一个阀门有点堵了。

垫子没有问题，分流有间歇的气响声。