1%HF过一下，当时我们装6300的时候，调试也出现这样的问题。最后没辙，狠心过HF，很快就好了。泵速调低些，毕竟会损伤玻璃的。能套个耐氢氟酸的雾化器就更好了。

1.先把雾化室洗干净看看吧，看着里面挂壁很严重，不仅影响强度，对于曲线也不好做。用洗洁精超声十分钟试一试，Varian的教程上有。2.还要检查接口处的橡胶圈，看是否有漏气现象，用肥皂水试一试。3.雾化器的雾化效果最好也看看。

对于雾化室，我是在加洗洁精的水溶液中超声10分钟。

玻璃同心雾室是最常用务实之一，效果挺好，雾化器插入深度对雾化效果也与有影响，按理说新雾室应该问题不大，看看是否哪里有漏气现象，或排液管有问题，炬管准值，波长校正情况都有影响

看你的雾化室，是710的