ICPMS点火过程中的变化供您参考：正向功率从0开始快速地上升到几百伏特，然后到1200V再到最后的1500V；同时反射功率从一开始的几百伏特快速下降到个位数，最后稳定在2V左右。不知道您所说的“反射波”是否为“反射功率”？另外，“反射波突然变为5”，是从多少变回来的呢？这方面多半是RF发生器有毛病吧？还是建议您咨询厂商。