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多晶硅的杂质分析(ICP-OES)

大家一般是怎样做多晶硅里的杂质分析的(B,P,Al,Fe)等,杂质含量 1ppm左右
4人参与回答
,实验员 2019-09-17回答
混酸分解,B加..(早起忘了,以后想起来再发)在相对低点温度搞下,慢慢蒸发
,研发/技术员
2019-09-17回答
不好意思,网络的问题,多发了几条
,食品化验员 2019-09-17回答
用氢氟酸赶走硅就可以了
,食品化验员 2019-09-17回答
B容易损失,而且杂质含量较低,SiF4的基体好像对很多元素的测试有挺大的影响
 
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