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四氟化硅的分析（GC）

恳求高手赐教，如何分析四氟化硅气体以及其中的各个杂质（氧气，二氧化碳，氯化氢，氟化氢等），要求精确到ppm级别联系信箱：jxfgh@sina.com

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似水流年 | 2019-09-17

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，食品检测分析员 2019-09-18回答

高灵敏度热导吧，系统一定要干净！

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