百分之几十的含量还是化学法准确啊，但是如果你做高纯ＳＩ，那就做杂质来减扣就好了！高含量还是化学检测准确度高些，当然ICP法配合内标校正也可以大幅提高精度。高纯的还是测定杂质含量用差减法来计算。也可以用重量法来测定（HF酸跑硅）。