应该是过滤筒脏了吧 呵呵 我们培训时候 工程师是这么教的

可能是风扇的功率不够所至，风扇的排气量（风速）由风扇运转后产生的前后压差决定，而RF工作后温度升高，必然导致风扇入气端气压升高，使压差减少，如果风扇的功率不足以克服由此产生的阻力，必然风速降低。功率不够可能是先天不足，即所配的马达或电容器性能不能满足设计要求。

风速？指的是ICP的排风系统么？

好象真听过这种情况,说排风太猛,房间成负压了.

是呀。是指ICP的RF的抽风的风速。

由于风速减小后，等离子产生的热量不能及时的抽出，炬管上的温度探测器发现温度升高有使炬管熄火。你们的排风扇出了问题，修修就可以了，我们原来也有过。

这个问题据我估计，跟大气压有关。当急速旋转时，周围气压会发生变化，逆压造成了阻力。