1：RF功率多大2：蠕动泵进样管是否漏气？3：等离子体点火前净化时间4：高频放电点位置（点火头）5：Ar纯度6：室内环境7：抽风机 30m3/min8：0.5~0.8MPa

另外,氩气压力偏低；雾室积水；炬管葬；抽风机排气量不足等均可造成点火困难重重。

你的問題太籠統了，一般點不者火要從幾個方面考慮1。 Ar气的純度2。 點火功率3。 功率匹配4。點火槍5。有些設備的一些保護措施是否完善。