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透射电镜(TEM)

1.设备型号TF20 场发射透射电镜,配备能谱仪 2.原理透射电子显微镜(Transmission electron microscope,缩写TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来。3.主要规格及技术指标4.主要功能及应用范围观察各种材料的微观结构并对样品进行纳米尺度的微区分析,如:形貌观察;高分辨电子显微像;电子衍射;会聚束电子衍射;衍射衬度成像;X射线能谱分析等。5.送样需知5.1粉末样品基本要求(1)单颗粉末尺寸最好小于1μm;(2)无磁性;(3)以无机成分为主,否则会造成电镜严重的污染,高压跳掉,甚至击坏高压枪;5.2块状样品基本要求(1)需要电解减薄或离子减薄,获得几十纳米的薄区才能观察;(2)如晶粒尺寸小于1μm,也可用破碎等机械方法制成粉末来观察;(3)无磁性;测试联系:金鉴实验室罗工:6.案例分析(1)FIB+HRTEM+EDS 半导体薄膜领域(2)FIB+TEM+EDS 半导体LED领域(3)磨抛+离子减薄+HRTEM 量子阱领域(4)FIB+HRTEM+EELS 纳米线截面观察及能谱分析测试联系:金鉴实验室罗工:
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