ICP光谱仪点火失败

检查一下气源压力

这个过程中，等离子体有熄灭吗？

点火过程中，辅助气是要下降的，但等离子气（冷却气）是不会下降的。

不会是点火参数被修改了吧？

点火过程中是会改变三路气体的流量的，不同的厂家不一样，同一厂家不同型号的仪器点火程序也不一样，如果点火两分钟之后参数还有变化那就是有问题了,除了管路堵了之外，可以尝试反吹一下MFC

点火的时候先要总默认的高流量吹扫，点火后流量降到设定值