我就在用Elan600。首先你的“RF线圈也看到破损”,破损到什么程度,有没有漏气。Elan的等离子气是通过线圈后进到炬管的(这样做是为了冷却线圈,其他公司的仪器是用冷却水来冷却线圈)。所以如果线圈有漏气的话,就会造成等离子气不够,会烧炬管。不知你们有没有换新的线圈试试。Elan6000由于生产较早,它并没有使用数字式气体质量流量控制器,使用的是压力传感流量控制器。等离子气流速固定在15L/min,辅助气为1.2L/min,软件里是不可调节的。你手头上如果有流量计,可以将等离子气与辅助气拆下来量一下,看看是不是在上述范围内。