ICP-MS泄真空时关气了，对仪器的损害是什么？仪器会出现什么故障？-MS

在空气湿度不大的情况下没什么问题。

减压阀一定要用质量好一点的，那怕是贵一些，可以减少很多不必要的麻烦。很多仪器的设计都是仪器在泄真空、尤其是意外断电后，氩气自动充入到仪器真空腔体内，以防止空气进入。因为空气中含有水汽等，一是会腐蚀元器件，二是那些元器件吸附水份后下次再抽真空就会很困难。所以工程师才说泄真空的时候要开着氩气。当然上面说的那些影响都是很微弱的，尽量避免就是了。