ICP熄火

这个问题还是请教比较权威的厂商工程师吧

熄火，要从以下下面检查气体是否不纯，电压是否稳定，系统是否漏气，冷却循环水是否正常

是不是检测等离子的传感器脏了，需要清洁。

请问电压有达到仪器的要求吗？找电工测测电压。