ICP的安全问题

搞光谱分析的各位大家好，我们实验室是是搞ICP等离子体刻蚀的。自己买了个ICP炬管，通入的是氩气和CF4，接上13.56Mhz射频电源，激发出等离子体，光很强烈（目测）（无任何防护措施）。我的疑虑是，这样的方式会不会有紫外或x射线或其他有害辐射呢？这关系到我们实验室人员的身体安全，都是20多岁的学生，真心求助展开全部∨ 1 回答 · 3 关注

共1个回答

改造人汽水侠三号，食品检测主管 2019-06-28回答

辐射是肯定有的，一定要做好保护措施

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