关于散射测试(UV)
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关于散射测试(UV)

我的光栅周期为300nm,其中线条只有150nm,材料为熔石英,吸收基本可以排除!在长波长(900nm以后)透过率和反射率之和等于1,刻蚀短波长透过率和反射率之和远小于1(可以肯定不是测量误差)!希望哪位专家能给个测试方案,看看短波长的那些光到底去哪了 展开全部∨ 0 回答 ·  2 关注
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