安捷伦1100，脱气机开半小时后亮红灯（已解决！可能是真空泵漏气以及电磁阀进灰尘引起）（LC）

有真空表用真空表直接测一下真空泵的真空度，0.090左右真空泵正常，如果没问题看看电磁阀和真空腔或者压力传感器吧。红灯亮证明真空度一直没有到0.09，开机默认8分钟左右真空度就能到，如果到不了就会出现红灯量。

? 感觉是一开机脱气机在持续工作，工作一段时间以后亮红灯。 我现在暂时关了它。等过几天有时间来拆开看看。

真空泵不行了。