关于高纯电子气CF4

关于高纯电子气CF4中杂质检测（GC）

各位老师，请教下 H2, O2+AR,N2, CH4,CO,CO2, SF6，CHF3,CClF3，HF? in CF4 的检测方法。暂时H2, O2+AR,N2, CH4,CO,CO2, SF6，n CF4 能确认用DID或者PDHID 的气相色谱仪来完成分析；CHF3,CClF3，HF? in CF4 大家有没有好的方法。展开全部∨ 0 回答 · 4 关注

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