求助后进样口损坏问题（GC）

报修为好

会不会是电路板坏了，要报修了。

可以把电路板重新插拔一下。

进样口的加热模块与EPC模块是两个独立的电路控制，如果同时出现上述报错的话，可能是主板出问题了，先关机后，重新将电缆接头插拔一下，重新开机看是否能恢复正常，不然只好工程师上门维修了。

“在后检测那里可以看到后进样口温度也上的去”是什么意思？是指操作面板上可以显示参数吗？

先重启下试试

后检测器没问题当然空气 氢气都有流量，报这个错也可能是进样口板子问题，或进样口EPC或温度传感器，关机? 重启看是否还报错，并逐一排查