气相做氟气·氟化硅·氟化氢（GC）

做课题的话用一到两次就可以了 应该不容易坏吧 用TCD做的

先要知道都有哪些气体，大致含量是多少，看看通过预处理系统能不能脱掉，然后再进色谱应该会好很多吧

什么课题，都有哪些腐蚀性气体？用别的方法吧，腐蚀了管路，搞坏了仪器恐怕得不偿失。

具体是哪些物质呢？

最好不用GC分析。