6890热导流量乱跳
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6890热导流量乱跳(GC)

6890N热导流量乱跳,设定30实际值会跳到100多 热导检测器不能开启,显示Filament gas ﹤5ml ∕ min wait ref? 是不是我的EPC坏了 ,求高手指导! 2 回答 ·  5 关注
共2个回答
我估计是悲剧了,可能需要换EPC了
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呵呵,没有遇到过这种情况。先问下,你说的实际值是机子显示的还是你测量的
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