多晶硅尾气分析(GC
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多晶硅尾气分析(GC)

请教大家对多晶硅还原进气和尾气都是用什么分析的。用什么取样装置呢? 3 回答 ·  5 关注
共3个回答
还原炉尾气温度高如何取得真实样品。
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请问标准气用的是什么呢?
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分析的是什么物质啊 sihcl 这类物质吗TCD? DC550? OK
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