关于隔垫吹扫(GC)
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关于隔垫吹扫(GC)

7890a 隔垫吹扫流量总是下不去 徘徊在5.6附近 一直报警 我检查了进气管道和出气管道都很通畅 进样空没发现有残渣,我怀疑是排气口epc堵了 但是不知道怎么办 求高人指点 在线等 3 回答 ·  4 关注
共3个回答
我设置的是3ml/min? 7890的epc貌似是电磁流量控制的 不知道怎么搞定
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隔垫吹扫流量好像不能设置吧
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可以的啊 最大是十 默认是3啊
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