6890N 氢气流量不稳定（GC）
氢气次级压力表应该是分压表的吧，分压表如果气密性好是不会波动的。气密性是没有问题，不过是那个氢气减压阀坏了，单纯EPC坏了，不会引起减压阀次级压力表压力的波动，所以换了个新的，问题就解决了，但是我也不确定我的EPC是不是真的有问题。 因为之前出现这种情况，也没有查看减压阀的问题，只是看机子上氢气实际流量有规律的在设定值40ml/min上下波动，基线出现的小峰比这次间隔时间短，更有规律一点。希望以后不要再出现这问题了吧，换个EPC好几万，哎。不过，还是谢谢大家！ 展开全部∨ 4 回答 · 1 关注共4个回答
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可能是安装线路时，氢气气路跟其它气路接翻了 夸张想象一下 是你的动作阀门上的进样气路跟氢气接反了 半分钟一次阀动作 可不是 一下一个峰么
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是啊 其它气体流量稳定的话 可能是氢气单个气路的问题
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我觉得不是气密性的问题，是epc要坏了，出现了控压不准的现象，有时除尘会好点，但解决不了问题，过不了多久就又这样，我以前用的那台老的6890就是这样的
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EPC坏， 换新的吧
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