信背比最大的RF功率
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信背比最大的RF功率可以做为最佳功率输入到分析方法中去吗?

RF功率的大小直接影响等离子体的温度以及离子化的程度,从而改变灵敏度和精确度,通过分析方法改变RF功率(例如950-1350W,增量为50W),改变一次,测定一次,把信背比最大的RF功率,作为最佳功率从输入到分析方法中。你是这样选择最佳RF功率吗? 展开全部∨ 1 回答 ·  5 关注
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这个要综合考虑。
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