做ICP辅气是起什么作用？

辅助气一般情况下是持续开着的，流量不大（一般是0.几L/min），冷却气（等离子体气）流量一般10L/min以上。辅助气是可以调节火焰离中心层的距离（一般称调整火焰高度）。