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varian ICP(720)点火失败,报错是冷却空气流量不足,怎么办?

varian ICP(720)点火失败,报错是冷却空气流量不足,怎么办? 4 回答 ·  4 关注
共4个回答
可能是RF冷却功率管那里的滤网灰尘过多,有点堵了,拆下来洗一下就好
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冷水机循环系统问题,调大一下冷水机压力,看看是否能够冷却,如果不行,那要对冷却管的滤网进行清理,并且换冷却水。
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清理过滤网灰尘
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内部空气过滤网灰尘太多,堵住了
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