为什么等离子体用高频
首页 > 问题列表 > 详情

为什么等离子体用高频发生器而不用低频发生器?

RF高频发生器为什么不用低频的? 3 回答 ·  1 关注
共3个回答
可以看一下等离子体两个基本理论,趋肤效应及通道效应,频率高等离子体紧凑,趋肤效应效应好,等离子体稳定!而且频率高,中央通道大,耐高盐,有机进样,可以大进样量等!
  8 0
还有补充么?
  7 0
等离子体的形成需要借助涡流效应,如果频率太低,涡流效应不明显,等离子体的形成太困难。
  7 0