熄火后关机步骤

不同品牌的ICP要求也不一样的。。。

的确与使用的仪器品牌有关，还有冷开机和热开机的问题一般是先关软件、水、气、抽风

关闭RF电源开关，等待5-10S，关闭主机电源开关，关闭氩气气瓶总阀门（也可放在后面关）关闭电源稳压器开关，关闭控制箱电源（内含空开和交流接触器，RF专线总开关），松开泵管（也可以主机电源关闭后松开），等待10MIN，关闭循环冷却水箱电源开关，这10分钟内整理记录，清理样品，擦拭机台，时间到后关闭设备，环视一周，OK，闪人！

原文由lansjian发表： 关闭RF电源开关，等待5-10S，关闭主机电源开关，关闭氩气气瓶总阀门（也可放在后面关）关闭电源稳压器开关，关闭控制箱电源（内含空开和交流接触器，RF专线总开关），松开泵管（也可以主机电源关闭后松开），等待10MIN，关闭循环冷却水箱电源开关，这10分钟内整理记录，清理样品，擦拭机台，时间到后关闭设备，环视一周，OK，闪人！貌似关气在关冷却循环水前