多晶硅的杂质分析(I
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多晶硅的杂质分析(ICP-OES)

大家一般是怎样做多晶硅里的杂质分析的(B,P,Al,Fe)等,杂质含量 1ppm左右 4 回答 ·  5 关注
共4个回答
混酸分解,B加..(早起忘了,以后想起来再发)在相对低点温度搞下,慢慢蒸发
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不好意思,网络的问题,多发了几条
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用氢氟酸赶走硅就可以了
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B容易损失,而且杂质含量较低,SiF4的基体好像对很多元素的测试有挺大的影响
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