ICP条件优化

这个可以用正交设计来进行优化的

我想同时选择出最优的入射功率，载气流量，辅助气流量，蠕动泵速率，有资料上说让背景等效浓度最小比较好，如果我做一个关于背景等效浓度和功率或载气流量或辅助气流量的曲线，我怎么选择出最佳入射功率或载气流量的那个点呢？还有怎么综合四个因素选择呢，因为最佳的入射功率时不一定是最佳的载气流量！? 麻烦大家讲一下

顶，默认参数

一般软件会有推荐值的

选择好最佳的功率后再选择流量.

弱弱的问句什么是正交试验优化？

建议用仪器默认推荐值

我就是想知道凭什么说明某个功率是最佳功率？

一般厂家会帮你设置的呀，而且没说清楚是要测什么样品呢。