四氟化硅的分析(GC
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四氟化硅的分析(GC)

恳求高手赐教,如何分析四氟化硅气体以及其中的各个杂质(氧气,二氧化碳,氯化氢,氟化氢等),要求精确到ppm级别联系信箱:jxfgh@sina.com 1 回答 ·  5 关注
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高灵敏度热导吧,系统一定要干净!
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