ICP 炬管烧掉的常
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ICP 炬管烧掉的常见情况汇总

你们上机前没有检查吧,矩管比较沾,没有定时清洗...烧矩管原因很多,有质量问题的,有冷却气流量不足的,有管路漏气的,有RF功率过大等等原因... 1 回答 ·  3 关注
共1个回答
我遇到过是冷却气有点堵塞,导致的,不过只烧上边边缘一点,还是能用的!
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