Varian 710-ES的Ar分压的问题
最近，氩气分压都调到0.9MPa了才点得着火，如果调低分压，熄火后提示氩气压力低，本来工程师说0.5MPa就行啊，我用的不是液氩，所以每次换气都要调气压，直到点着火为止，测试是不受什么影响，但总感觉不对，首先说明无漏气发生，请大家说说，该怎么解决？ 展开全部∨ 3 回答 · 1 关注共3个回答
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可能是氩气过滤铜网有堵塞,需要用丙酮超声清洗.
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如果表是正常的,只有良种可能情况;1,进器口堵了2,传感器不准确
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每次换气都要去调压力，是不是气体的纯度有问题，或者是气瓶漏气。这样操作隐患比较大，因为放电参数不合适，很容易烧毁炬管，所以最好能找到原因。
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