点不着火，rf功率管冷却空气流量不足

不用看就是到是斯派克的ICP了不知道是哪一款，把后盖打开就在高压发生器的正上方有一个和空气过滤筛连接的软管，把它拆下来。然后就用手去摸一下，会发现上面有一风速感应器（和电脑CPU用的风扇差不多）然后拿棉签去慢慢清理就好了，不过很麻烦的。还有就是可以改动接地电阻让探测到的电压偏高就没事了，这个工作还是工程师来做比较好。