氧化物可不可以用来做ICP 标准样，

高纯的话,可以做标准吧,不过配制过程要严格

最好买光谱纯的试剂。

既然是高纯物质? 没什么问题的? 影响不大

可以的，许多元素在氧化物状态下才是稳定状态。